DS300簡(jiǎn)介
DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是基于壓力檢測(cè)原理的質(zhì)量流量控制器，流量控制采用壓電閥控制技術(shù)。產(chǎn)品具有零點(diǎn)漂移小，控制流量穩(wěn)定、可靠，響應(yīng)時(shí)間短、精度高的優(yōu)點(diǎn)，此外還具有壓力不敏感功能，能夠適用較大的氣源壓力波動(dòng)。產(chǎn)品采用全金屬密封，所有與氣體接觸的零件都經(jīng)過(guò)EP處理，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，如刻蝕設(shè)備上。
DS300外觀圖
電源方式
DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）產(chǎn)品采用開(kāi)關(guān)電源方式，可支持很寬的雙電源（±8～±16V DC）或單電源（+14～+28V DC），客戶可以根據(jù)需要自行選擇。
電氣接頭
DS300壓力式MFC產(chǎn)品的電氣接頭有DeviceNet接頭和D型陽(yáng)接頭（9針或15針），客戶可以根據(jù)需要自行選擇。
圖1 9針D型陽(yáng)接頭連接圖
圖2 15針D型陽(yáng)接頭連接圖
通訊協(xié)議
DS300壓力式MFC產(chǎn)品支持RS485串行通訊與DeviceNet通訊協(xié)議，客戶可以根據(jù)需要自行選擇，其中RS485串行通訊可以用RS485電纜線和相應(yīng)的適配器與電腦進(jìn)行連接。
圖3 DeviceNet連接圖
圖4 RS485連接圖
